Arc-Verdampfer

PVD Arc-Verdampfereinheit (kathodische Lichtbogenquelle)

  • Robuste Allrounder in der industriellen Produktion
  • Flexible Einsatzmöglichkeiten in Forschung & Entwicklung
  • Retrofit von älteren Vakuum- und Beschichtungsanlagen
  • Ergänzen vorhandener Anlagen mit zusätzlicher Technologie

Merkmale

  • Design und Herstellung Made in Germany
  • Verbesserte Wirtschaftlichkeit durch Kathodenausnutzung > 70% bei höherer Abdampfrate
  • Schneller Kathodenwechsel durch Schnellwechselsystem mit Spannring
  • Hohe Produktionssicherheit durch indirekte Wasserkühlung
  • Kathodenkontaktfläche aus hochfester, wärmeleitender Kupferlegierung
  • Für alle bekannten Kathodenmaterialien (u. A. Titan, Chrom, Zirkon sowie Legierungen z.B. Titanaluminium, Chromaluminium)
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Verdampfertyp
Arc Spot-Verdampfer
Lichtbogentyp
cathodic random arc
Einsatzbereich
industrielle Produktion; F&E
Einbaulage
beliebig
Befestigung Grundmodul im Flansch
Horizontalspanner für schnelle Entnahme
Kathodenbefestigung
Schnellwechselsystem mit Spannring
Stromanschluß
Schnellkupplung Bajonett
ak!ver Kathodendurchmesser
Ø 80 mm
aktive Kathodenfläche
̴ 50 cm2
Kathodenmaterialien
alle bekannten Kathodenmaterialien
Kathodenausnutzung
> 70 % (Reduzierung der Verbrauchskosten)
Ionisierungsgrad
bis 90%
Druckbereich
< 7 x 10-2 mbar
Verdampferstrom
max. 100 A
Material
komplett 1.4301 bzw. 1.4571
Kathoden-Kontaktfläche aus hochfester Kupferlegierung
Kühlung
indirekte Wasserkühlung Kathodenfläche
Kühlwasser Anschluß
Schnellkupplungen beidseitig dichtend
Kühlwasserbedarf
10 L / min., 5 bar absolut, 15 – 20 °C
Triggereinheit
faltenbalg gedichtet
Triggerzündung
elektropneumatisch
Lichtbogenfokussierung
Magnetfeld
Abmessung
Einschweißflansch Ø 165 mm (Verdampfer) plus Einschweiß-flansch KF40 (Trigger)
Aufbaumöglichkeiten
– Einschweißflansch Ø 165 plus Einschweißflansch KF40 (auch in vorhandene Rezipienten)
– komplett auf Flansch CF oder ISO-K ab Ø 250 mm
– komplett auf MA VerdampferFlansch
– komplett auf individuellem Flansch ab Ø 250 mm