Arc-Verdampfer

PVD Arc-Verdampfereinheit (kathodische Lichtbogenquelle)

Design und Herstellung Made in Germany
Verbesserte Wirtschaftlichkeit durch Kathodenausnutzung > 70% bei höherer Abdampfrate
Schneller Kathodenwechsel durch Schnellwechselsystem mit Spannring
Hohe Produktionssicherheit durch indirekte Wasserkühlung
Kathodenkontaktfläche aus hochfester, wärmeleitender Kupferlegierung
Für alle bekannten Kathodenmaterialien (u. A. Titan, Chrom, Zirkon sowie Legierungen z.B. Titanaluminium, Chromaluminium)

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Verdampfertyp	Arc Spot-Verdampfer
Lichtbogentyp	cathodic random arc
Einsatzbereich	industrielle Produktion; F&E
Einbaulage	beliebig
Befestigung Grundmodul im Flansch	Horizontalspanner für schnelle Entnahme
Kathodenbefestigung	Schnellwechselsystem mit Spannring
Stromanschluß	Schnellkupplung Bajonett
ak!ver Kathodendurchmesser	Ø 80 mm
aktive Kathodenfläche	̴ 50 cm²
Kathodenmaterialien	alle bekannten Kathodenmaterialien
Kathodenausnutzung	> 70 % (Reduzierung der Verbrauchskosten)
Ionisierungsgrad	bis 90%
Druckbereich	< 7 x 10^-2 mbar
Verdampferstrom	max. 100 A
Material	komplett 1.4301 bzw. 1.4571 Kathoden-Kontaktfläche aus hochfester Kupferlegierung
Kühlung	indirekte Wasserkühlung Kathodenfläche
Kühlwasser Anschluß	Schnellkupplungen beidseitig dichtend
Kühlwasserbedarf	10 L / min., 5 bar absolut, 15 – 20 °C
Triggereinheit	faltenbalg gedichtet
Triggerzündung	elektropneumatisch
Lichtbogenfokussierung	Magnetfeld
Abmessung	Einschweißflansch Ø 165 mm (Verdampfer) plus Einschweiß-flansch KF40 (Trigger)
Aufbaumöglichkeiten	– Einschweißflansch Ø 165 plus Einschweißflansch KF40 (auch in vorhandene Rezipienten) – komplett auf Flansch CF oder ISO-K ab Ø 250 mm – komplett auf MA VerdampferFlansch – komplett auf individuellem Flansch ab Ø 250 mm