PVD-Anlage 9-500
Mit 500 Liter Kammervolumen und 9 Arc-Verdampfern deckt die vollautomatische PVD-Anlage 9-500 mehr als 95% aller möglichen Substratabmessungen ab und ist daher universell einsetzbar. Die große Anzahl der Verdampfer im Verhältnis zum Kammervolumen ermöglicht schnelle Beschichtungszyklen.
Wie alle GPA-PVD-Anlagen ist sie nach einem Konzept aufgebaut, das Robustheit und lange Lebensdauer garantiert.
- Doppelwandige oktagonale Beschichtungskammern aus Edelstahl, vollflächig gekühlt, für höchste Maßhaltigkeit und Optik auch nach Jahren
- Die gesamte Anlage wird platzsparend auf einem kompakten Edelstahl-Gestell montiert
- Plug-In System (zentraler Übergabepunkt für alle Anschlüsse wie Strom, Druckluft, Kühlaggregat, Gase) ermöglicht die Inbetriebnahme innerhalb eines Tages
- Ent- und Beladen kompletter Chargen mittels Chargierdolly
- Check Control: automatische Anzeige der Wartungsintervalle
- Inclusive bewährter Rezepturen für alle Schichtsysteme
- Eigene Entwicklungen können schnell und einfach abgespeichert werden
- Fernwartungsmodul wahlweise über Internet oder ISDN
- Schulung des Bedienpersonals an baugleichen Anlagen vor der Inbetriebnahme möglich
Beschichtungskammer | Abm. Ø 800 x 1.000 mm Werkstoff austenitischer Stahl doppelwandig; vollflächig gekühlt bzw. ausheizbar |
|---|---|
Drehantrieb | stufenlose Drehzahlregelung Rechts-/Linkslauf Chargengewicht bis 500 kg |
Verdampfer | 9 Arc-Spot-Verdampfer aktive Kathodenfläche 50 cm2 |
Verdampfer-Stromversorgungen | 9 Stück max. 120 A |
Hochspannungsversorgung | 0 – 1.000 V 0 – 30 ADC 0 – 75 APuls schnelle Arc-Abschaltung |
Substratheizung | 2 Heizungen à 13,5 kW |
Substrat-Temperaturmessung | Pyrometer 150 – 550 °C |
Prozessgas-Steuerung | 4 Mass Flow Controller (Argon, Wasserstoff, Stickstoff, Kohlenstoffträgergas) |
Vorvakuumpumpstand | Drehschieber/Rootspumpenkombination Saugleistung S 360 m3 / h |
Hochvakuumpumpe | Turbomolekularpumpe Saugleistung S = 1.550 L /sec. |
Hochvakuumventil | schrittmotor-gesteuerter Regelschieber DN 250 |
Vakuummessung | Pirani gasart unabhängiges Messgerät |
Prozesssteuerung | Vollautomatisch, Industrie PC Parameter, Rampen etc. frei programmierbar |
Zubehör (optional) | Kalt-/Warmwasserversorgung Prozessgasversorgung 3fach planetarisch rotierende Substrathalter Wechseltische |
