Sonderanlagen
Individuell konstruierte Beschichtungsanlagen nach Ihren Anforderungen – das sind GPA Anlagen für F&E (Forschung und Entwicklung).
Beginnend mit einer Machbarkeitsstudie entwickeln wir Schritt für Schritt Ihre persönliche Anlage.
Beschichtungskammer | Abm. Ø 700 x 800 mm Werkstoff austenitischer Stahl doppelwandig; vollflächig gekühlt bzw. ausheizbar |
|---|---|
Drehantrieb | stufenlose Drehzahlregelung Rechts-/Linkslauf Chargengewicht bis 500 kg |
Unversalflansche | 4 Stück DN 200 mit wassergekühltem Blinddeckel
zur Integration zusätzlicher Aggregate |
Verdampfer | 2 Arc-Spot-Verdampfer
aktive Kathodenfläche 50 cm2 |
Verdampfer-Stromversorgungen | 2 Stück max. 100 A |
Hochspannungsversorgung | 0 – 1.000 V gepulst 0 – 10 ADC 0 – 20 APuls schnelle Arc-Abschaltung |
Substratheizung | 4 Heizungen à 6 kW |
Substrat-Temperaturmessung | Pyrometer 150 – 550 °C |
Prozessgas-Steuerung | 4 Mass Flow Controller (Ar, H2, N2, Kohlenstoffträgergas) |
Vorvakuumpumpstand | Drehschieber/Rootspumpenkombination Saugleistung S 340 m3 / h |
Hochvakuumpumpe | Turbomolekularpumpe
Saugleistung S = 1.550 L /sec. |
Hochvakuumventil | schrittmotor-gesteuerter Regelschieber DN 200 |
Vakuummessung | Pirani gasart unabhängiges Messgerät |
Prozesssteuerung | Vollautomatisch, Industrie PC Parameter, Rampen etc. frei programmierbar |
Zubehör (optional) | Kalt-/Warmwasserversorgung Prozessgasversorgung 3fach planetarisch rotierende Substrathalter |
