Sonderanlagen

Individuell konstruierte Beschichtungsanlagen nach Ihren Anforderungen – das sind GPA Anlagen für F&E (Forschung und Entwicklung).

Beginnend mit einer Machbarkeitsstudie entwickeln wir Schritt für Schritt Ihre persönliche Anlage.

Beschichtungskammer
Abm. Ø 700 x 800 mm
Werkstoff austenitischer Stahl
doppelwandig; vollflächig gekühlt bzw. ausheizbar
Drehantrieb
stufenlose Drehzahlregelung
Rechts-/Linkslauf
Chargengewicht bis 500 kg
Unversalflansche
4 Stück DN 200 mit wassergekühltem Blinddeckel zur Integration zusätzlicher Aggregate
Verdampfer
2 Arc-Spot-Verdampfer aktive Kathodenfläche 50 cm2
Verdampfer-Stromversorgungen
2 Stück max. 100 A
Hochspannungsversorgung
0 – 1.000 V gepulst
0 – 10 ADC 0 – 20 APuls
schnelle Arc-Abschaltung
Substratheizung
4 Heizungen à 6 kW
Substrat-Temperaturmessung
Pyrometer 150 – 550 °C
Prozessgas-Steuerung
4 Mass Flow Controller (Ar, H2, N2, Kohlenstoffträgergas)
Vorvakuumpumpstand
Drehschieber/Rootspumpenkombination
Saugleistung S 340 m3 / h
Hochvakuumpumpe
Turbomolekularpumpe Saugleistung S = 1.550 L /sec.
Hochvakuumventil
schrittmotor-gesteuerter Regelschieber DN 200
Vakuummessung
Pirani
gasart unabhängiges Messgerät
Prozesssteuerung
Vollautomatisch, Industrie PC
Parameter, Rampen etc. frei programmierbar
Zubehör (optional)
Kalt-/Warmwasserversorgung
Prozessgasversorgung
3fach planetarisch rotierende Substrathalter